今日消息 美埃科技：为中芯国际、上海微电子供应产品

美埃科技3月17日在互动平台表示，从2006年至今为中芯国际多地工厂供应风机过滤单元、高效/超高效过滤器、化学过滤器等产品，用于保障中芯国际系的历代产品线（包括中芯国际最先进的14nm和28nm制程）对空气洁净度的要求。同时，公司为开发国内首台28纳米光刻设备的上海微电子所需的光刻机机台内国际最高洁净等级标准（ISOClass1级）洁净环境提供EFU（超薄型设备端自带风机过滤机组）及ULPA（超高效过滤器）等产品，助力国内光刻机事业突破卡脖子技术难题。

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