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今日消息 至纯科技:12寸炉管设备一季度将送到客户端去做验证

发布时间:2023-03-17 20:03:22来源:

导读 至纯科技近期接受调研时表示,2022年炉管和涂胶显影设备有超过八千万元的订单,今年的订单规划我们会在年报中披露。2022年都是8寸的设备。...

至纯科技近期接受调研时表示,2022年炉管和涂胶显影设备有超过八千万元的订单,今年的订单规划我们会在年报中披露。2022年都是8寸的设备。目前8寸炉管已有重复订单;12寸的炉管设备,今年一季度会送到客户端去做验证,主要类型是ALD Nitride。涂胶显影设备今年8寸设备验证并交付;12寸设备我们已经完成专利检索、技术评估并基本完成了关键单元模组和关键系统的设计,目前在着手框架搭建及DEMO UNIT,并将在今年做模组验证工作,预计明年到用户端系统验证。

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